发明专利 已授权

一种油敏可控精密变形的薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN202010041202.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2020-01-15
公开号
CN111234531A
公开日
2020-06-05
申请人
常熟理工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

智能传感器, 微驱动器, 软体机器人, 微流控器件, 智能表面

摘要

本发明公开了一种油敏可控精密变形的薄膜,薄膜为掺杂氧化石墨烯的聚二甲基硅氧烷固化膜,氧化石墨烯占聚二甲基硅氧烷的质量比为0.5~10%,薄膜的一面为光面,薄膜的另一面刻蚀有微轨道结构,微轨道结构为若干平行排列的沿欲卷曲方向延伸的条形凹槽或三棱柱槽队列。本发明还公开了一种油敏可控精密变形的薄膜的制备方法,包括:将氧化石墨烯与聚二甲基硅氧烷混合搅拌均匀,除气加热固化;采用激光刻蚀制备微轨道结构;将制备好的薄膜切割成需要的形状。本发明的薄膜可对油脂刺激做出三维的复杂变形响应,解决了多层结构寿命问题,便于生产加工。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20211126
✅ 授权
20200630
?? 实质审查的生效 :
20200605
📄 公开

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