发明专利已授权

一种HoSrMnNi/HoSrMnZn共掺铁酸铋超晶格薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201710254344.9 📄 发布日：2026/05/22

著录项目信息

申请日

2017-04-18

公开号

CN107245704A

公开日

2017-10-13

申请人

陕西科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C18_12

IPC 分类号

C23C18_12 , C23C18_04 , C01G53_00 , C01G45_00 ,

技术画像

所属领域

多铁性材料多铁性材料铁电薄膜材料超晶格材料

应用场景

信息存储, 自旋电子器件, 传感器, 磁电耦合器件, 微电子器件

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摘要

本发明提供了一种HoSrMnNi/HoSrMnZn共掺铁酸铋超晶格薄膜及其制备方法，用晶体结构为三方结构，空间群为R3c:H和R3m:R共存的不同元素掺杂的铁酸铋薄膜制备出Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.96Mn0.03Ni0.01O3/Bi0.89Ho0.08Sr0.03Fe0.95Mn0.03Zn0.02O3超晶格薄膜，即HoSrMnNi/HoSrMnZn共掺铁酸铋超晶格薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，并采用旋涂和层层退火法，设备要求简单，适宜在大的表面和形状不规则的表面上制备薄膜，且化学组分精确可控，可改善BiFeO3薄膜的多铁性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240809

?? 专利权的转移：

20190125

✅ 授权

20171110

?? 实质审查的生效：

20171013

📄 公开

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