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摘 要:本实用新型公开了一种半导体加工用检测设备,包括底箱,所述底箱内腔底部的右侧固定连接有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有传动杆,所述传动杆的表面固定连接有主动齿轮,底箱内腔的底部通过轴承活动连接有转杆。本实用新型通过底箱、第一电机、传动杆、主动齿轮、转杆、从动齿轮、检测台、弹簧、第一限位块、安装块、电动推杆、第二限位块、侧板、箱体、第二电机、螺纹杆、螺纹套和连接块的配合使用,能够有效的解决传统半导体加工用检测设备在使用的过程中,采用的定位方式效率较为低下,无法快速的对半导体进行限位的问题,该装置能够方便对半导体进行限位,保证了半导体加工过程中的稳定性,提高了使用效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202220034994.9 | 专利名称: | 一种半导体加工用检测设备 |
申请日: | 2022-01-08 | 申请/专利权人 | 深圳市采芯检测科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省深圳市福田区华强北街道福强社区深南中路2070号电子科技大厦C座15NN3单元 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R1/04搜分类 半导体 半导体加工 检测技术搜索 |
公开/公告日: | 2022-10-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN217561542U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2022/10/11 | 授权 |