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摘 要:一种超声键合压力的识别方法,属于超声键合技术领域,键合压力的增加,超声电压包络幅值逐步增大,而电流包络幅值逐步减小,根据其相互变化建立公式评估键合压力;键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加,间隔为0.1N。一共安排了6组实验,其它3个工艺参数固定为:键合时间:15ms,超声功率:25mW,加载温度:200℃。式中:F——键合压力评估值;n——数据长度;xi,yi——超声电压信号和电流信号,i=1,2,…,n;λF——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点,每组实验分别测量10个样本,通过多组数据的计算,取其平均值,得到均值λF,最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201410053685.6 | 专利名称: | 一种超声键合压力的识别方法 |
申请日: | 2014-02-17 | 申请/专利权人 | 浙江海洋学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省舟山市定海区文化路105号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01L5/00搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2014-06-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN103852203A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2017/05/10 | 授权 | |
2015/05/13 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01L 5/00 专利申请号: 201410053685.6 申请日: 2014.02.17 |
2014/06/11 | 公开 |