发明专利已授权

一种具有功能通道结构的硅基微型脉动热管

📄 申请号：CN201410025799.X 📄 发布日：2026/07/10

著录项目信息

申请日

2014-01-21

公开号

CN104132569A

公开日

2014-11-05

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F28D15_04

IPC 分类号

F28D15_04

技术画像

所属领域

脉动热管脉动热管微通道传热微机电系统

应用场景

电子设备散热, 芯片散热, 微电子器件冷却, 大功率电子器件散热, 航空航天热管理

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摘要

本发明涉及脉动热管，特指一种有功能通道结构的硅基微型脉动热管所述的微型脉动热管由一对半导体硅片和耐热硼硅酸玻璃片键合而成，所述的硼硅酸玻璃片上加工有抽真空/注液孔；所述的抽真空/注液孔与半导体硅片上的抽真空/注液微槽道的顶端位置相对应，所述硅片上刻蚀有若干微槽道，其特征在于：所述微槽道的宽度沿热管长度方向呈线性变化。本发明克服了普通等截面通道硅基微型脉动热管内部工质难以形成整体定向循环运动和蒸发段易发生“烧干”等不足，通过调整脉动热管通道截面尺寸和热管构型来实现提高其冷却温控性能和承载热负荷的能力。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20160817

✅ 授权

20141210

?? 实质审查的生效：

20141105

📄 公开

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