发明专利已授权

一种硅棒生产用几何尺寸测量装置

📄 申请号：CN201710905721.0 📄 发布日：2025/12/09

著录项目信息

申请日

2017-09-29

申请人

新昌县晋通机械有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01D21_02

IPC 分类号

G01D21_02 , G01B11_24 ,

技术画像

所属领域

尺寸测量装置几何尺寸测量在线检测硅棒加工尺寸测量装置

应用场景

光伏制造, 半导体材料加工, 硅棒尺寸检测

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摘要

本发明公开了一种硅棒生产用几何尺寸测量装置，包括数控箱、金相显微镜、测控装置和集成检测箱，数控箱的顶端嵌入设置有第一显示器，第一显示器的侧面连接有操作按钮，数控箱的前上端设置有第二显示器，该种硅棒生产用含量测试仪，集成检测箱包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像，将硅棒检测的多步骤进行集合，减少繁杂操作的同时提高整体的检测精度，设有第二显示器，直接连通集成检测器，并将集成检测器检测的各项参数组合解析后，形成三维图像显示出来，通过与第一显示器显示的平面图进行参照，方便检测人员进行调整，使其能够精准的测量出硅棒的各项参数，提高装置的实用性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201030

✅ 授权

20201027

⏳ 专利申请权的转移：

20200724

⏳ 专利申请权的转移：

20200214

⏳ 专利申请权的转移：

20180112

?? 实质审查的生效：

20171219

📄 公开

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