一种磨粒浮动式自适应电化学机械抛光加工方法及装置

摘     要：本发明公开了一种磨粒浮动式自适应电化学机械抛光加工方法及装置，属于电化学机械抛光领域。本发明的抛光方法为：a、构建浮动式磨粒抛光系统：该抛光系统包括磨粒、支撑组件和电解液供给系统，支撑组件设有用于放置磨粒的容纳腔，磨粒可活动地安装在该容纳腔内，容纳腔设有下入口和上出口，以控制电解的流入与流出，将工件设于容纳腔上出口的上方，使电解液供给系统从容纳腔下入口处给工件供给电解液；b、进行抛光加工，并可根据实际加工需求通过调整电解液压力实现。本发明通过控制电解液压力的方式，既控制了电解蚀除效率，又控制了机械磨削力，实现了磨削力自适应电解蚀除效率的目的，控制方便且准确，抛光精度和效率高。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2019/02/26	授权
  2018/05/08	实质审查的生效	IPC(主分类): B23H 5/06 专利申请号: 201711115032.6 申请日: 2017.11.13
  2018/04/13	公开