发明专利已授权

一种敏感膜气体传感器及其制备方法

Name: 一种敏感膜气体传感器及其制备方法
Brand: 苏州科技大学
SKU: 2016109368056
Availability: InStock

📄 申请号：CN201610936805.6 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2016-11-01

公开号

CN106324046A

公开日

2017-01-11

申请人

苏州科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_12

IPC 分类号

G01N27_12

技术画像

所属领域

气体传感器气体传感器气敏材料薄膜制备技术

应用场景

环境监测, 工业安全, 室内空气质量检测, 智能家居, 医疗呼气检测

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摘要

本发明公开了一种敏感膜气体传感器及其制备方法。传感器包括内含隔离槽的单晶Si片、热氧化生长的SiO2、电介质绝缘层、导电层、悬空敏感膜和贵金属催化剂颗粒；先在单晶Si片上制作隔离槽，再沉积电介质绝缘层和导电层调控隔离槽开口宽度，最后用斜角入射沉积法在隔离槽顶部制作上/下表面均与外界气体直接接触的悬空敏感膜。本发明采用悬空敏感膜为探测元件，提高了敏感膜的利用率和传感器性能，且其制作工艺简单、重复性好，有利于传感器的小型化和批量生产，具有广阔的市场前景。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

多元素协同阻燃剂苯基硫代膦酸酯化合物及其制备方法

当前第 / 件

硫化钼复合富勒烯材料及在近红外光脱氮中的应用

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