实用新型已授权

半导体废气处理设备

Name: 半导体废气处理设备
Brand: 无锡洁安洁通用设备有限公司
SKU: 2022214733506
Availability: InStock

📄 申请号：CN202221473350.6 📄 发布日：2026/10/22

著录项目信息

申请日

2022-06-13

公开号

CN217527007U

公开日

2022-10-04

申请人

无锡洁安洁通用设备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01D53_78

IPC 分类号

B01D53_78 , B01D50_60 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 工业废气治理, 洁净室排风处理, 环保设备

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摘要

本实用新型涉及半导体生产设备相关技术领域，尤其为半导体废气处理设备，包括处理箱体，处理箱体的左右两侧均固定连接有密封块，右侧密封块的内侧固定连接有进水喷头，进水喷头的右侧固定连接有进水管道，进水喷头的左侧开设有若干组进水喷孔，处理箱体的内部从上至下依次设置有第一过滤板、第二过滤板、第三过滤板，处理箱体的内部固定连接有第二进气管道，第二进气管道的下端延伸至第二过滤板与第三过滤板之间，解决了半导体在生产的过程中会产生大量的废气，直接排放容易对环境造成污染，现有的废气处理设备的处理效果较差，排放的废气中还会存在少量的有害物质，且传统废气处理设备的排气的速度较慢，导致处理效率较低的问题。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN217527007U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种干线放大器的密封结构

当前第 / 件

半导体制程尾气处理系统

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