实用新型已授权

一种黑硅表面加工的通风装置

📄 申请号：CN202022349077.3 📄 发布日：2026/09/21

著录项目信息

申请日

2020-10-21

公开号

CN213997038U

公开日

2021-08-20

申请人

朱秀

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B5_02

IPC 分类号

B08B5_02 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备工业通风系统表面处理设备

应用场景

半导体制造, 光伏电池制造, 硅片表面处理, 工业厂房通风, 废气排放控制

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摘要

本实用新型属于黑硅加工设备技术领域，尤其为一种黑硅表面加工的通风装置，针对现有的黑硅表面加工的通风装置由于不便于对进风口进风角度进行调节、导致在需要对黑硅的表面污染物进行吹扫时吹扫效率较低、影响使用效果的问题，现提出如下方案，其包括箱体，所述箱体内固定安装有隔板，隔板顶部开设有安装槽，安装槽内转动安装有竖轴，竖轴顶端固定安装有扇叶，所述箱体一侧顶部固定安装有固定板，固定板前侧底部固定安装有安装板。本实用新型结构设计合理，通过带动扇叶高速转动对黑硅表面的污染物进行通风和吹扫，并同时带动多个导风板往复转动，从而调整进风口的进风较低，提升污染物吹扫的效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN213997038U

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210820

✅ 授权

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：3 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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