发明专利 已授权

一种可拆装的真空密封电器接口

📄 申请号:CN201910607590.7 📄 发布日:2026/09/01

著录项目信息

申请日
2019-07-04
公开号
CN112186376B
公开日
2025-06-20
申请人
常州宝颐金刚石科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空设备, 半导体制造设备, 真空镀膜设备, 真空炉, 电气设备

摘要

本发明涉及一种可拆装的真空密封电器接口,包含由绝缘材料制成的法兰盘、至少三根垂直设置在法兰盘真空侧面上呈圆周均匀放置的螺纹柱、套设在多根螺纹柱上可滑动的绝缘板、两端分别穿过法兰盘和绝缘板且间隙配合的金属焊柱;所述金属焊柱上在法兰盘和绝缘板之间设置有环形凸台;所述金属焊柱上在法兰盘和环形凸台之间套设有密封圈;每根所述螺纹柱上在绝缘板的外侧均设置有通过螺纹连接的螺母;本发明通过金属焊柱能起到过渡作用,可分别用于连接真空腔室内和真空腔室外的导线,且具有拆装方便、密封效果好等优点。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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