实用新型 已授权

一种气体流量控制装置

📄 申请号:CN202421377468.8 📄 发布日:2026/08/14

著录项目信息

申请日
2024-06-17
公开号
CN222580443U
公开日
2025-03-07
申请人
沈阳祺信达机械零部件制造有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业自动化, 半导体制造, 医疗设备, 实验室分析, 能源与化工

摘要

本实用新型涉及气体流量控制技术领域,尤其是一种气体流量控制装置,包括气体控制装置主体、进气管和排气管,所述气体控制装置主体的内部设有气体流量可调结构,所述气体流量可调结构包括延伸块、气缸和气流腔,两个所述延伸块固定安装在气体控制装置主体的外壁两侧,两个所述延伸块的内部固定安装有两个气缸,两个所述连接块的一侧固定连接有封闭板。该气体流量控制装置,气缸会推动端部的连接块向气体控制装置主体内部移动,气缸推动的距离就能够控制封闭板遮挡气流腔端部贴合孔的距离,更加能够精准合理的控制气体控制装置主体内部气体的流动,利用气缸多幅度的对气流腔外侧贴合孔的口径进行调节,提高了气体流量控制装置的使用效果。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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