发明专利 已授权

以Si为基底c轴取向生长Bi4Ti2、95Co0、05O12多铁薄膜及其制备方法

📄 申请号:CN201910460023.3 📄 发布日:2026/08/10

著录项目信息

申请日
2019-05-30
公开号
CN110078131B
公开日
2022-04-12
申请人
西安理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

信息存储器件; 自旋电子器件; 传感器; 微机电系统

摘要

以Si为基底c轴取向生长Bi4Ti2.95Co0.05O12多铁薄膜,包括以下组分:Bi(NO3)2·5H2O、Co(NO3)2·6H2O、钛酸丁酯、乙二醇甲醚、乙酰丙酮;制备方法的步骤为:以Bi4Ti2.95Co0.05O12溶胶为前驱体,在以c轴取向LaNiO3为缓冲层的Si基底上制备Bi4Ti2.95Co0.05O12凝胶薄膜,随后经干燥、热处理,制备具有c轴取向性的Bi4Ti2.95Co0.05O12多铁薄膜;具有优异的导电性、可取代铂和金等贵金属作为Bi4Ti2.95Co0.05O12薄膜电性能测试的底电极的特点。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20220412
✅ 授权
20190827
?? 实质审查的生效 :
20190802
📄 公开

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