发明专利已授权

一种纳米线氢气传感芯片、氢气泄漏检测系统及方法

📄 申请号：CN202610366906.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2026-03-24

公开号

CN121899210B

公开日

2026-07-03

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_12

IPC 分类号

G01N27_12

技术画像

所属领域

检测系统气体传感器纳米材料半导体器件纳米线检测系统

应用场景

氢气泄漏检测, 氢能源汽车, 加氢站安全监测, 工业安全监测, 储能系统

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摘要

本发明公开了一种纳米线氢气传感芯片、氢气泄漏检测系统及方法，所述芯片包括衬底，衬底顶面设置有导电籽晶层，导电籽晶层上设置有物理隔离槽，物理隔离槽第一侧的导电籽晶层顶面设置有第一纳米线阵列，第一纳米线阵列的顶端设置有电极，物理隔离槽第二侧的导电籽晶层顶面设置有第二纳米线阵列。本发明在同一衬垫上设置第一纳米线阵列和第二纳米线阵列，并采用物理隔离槽电隔离，从而将两种截然不同的检测机制结合到同一芯片中，可结合两者的检测结果，降低在复杂环境下的误报率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于差分隐私的个性化联邦学习识别方法及系统

当前第 / 件

一种用于离线有机气溶胶样品的化学电离质谱分析方法

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_12)

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