发明专利 已授权

一种薄膜与基体结合力步进电机驱动丝杠传动测量装置

📄 申请号:CN202110132218.2 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2021-01-31
公开号
CN112763414B
公开日
2024-07-02
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

薄膜材料质量检测, 材料表面工程, 工业质量控制, 科研实验测试

摘要

本发明公开了一种薄膜与基体结合力步进电机驱动丝杠传动测量装置,包括测量架、检测试样、步进电机驱动装置及薄膜结合力测定装置,所述步进电机驱动装置固定设置在测量架,所述薄膜结合力测定装置与步进电机驱动装置相连,所述检测试样一端与薄膜结合力测定装置相连,另一端与测量架相连,从而通过步进电机驱动装置带动薄膜结合力测定装置运动,实现对检测试样的检测。本发明的有益效果:该设计巧妙,结构合理,安全牢固,使用方便。应用本装置测量薄膜与基体的结合力,大幅简化了测试过程,减少测试时间,提高了测量的效率,保证了测量的薄膜与基体的结合力的稳定性与精确性,对薄膜的研究领域具有重要的意义。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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