发明专利 已授权

一种气体静压主轴气膜无级变阻尼装置

📄 申请号:CN201910238705.X 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2019-03-27
公开号
CN110026572B
公开日
2024-03-26
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密机床, 超精密加工, 半导体制造设备, 光学加工

摘要

气体静压主轴气膜无级变阻尼装置,轴套与主轴同轴安装,轴套与主轴之间的间隙形成气膜;气室外套装套于轴套外壁,气室外套内壁沿周向均布若干凸出的接触部,在轴套外壁围合出若干周向均布的气室;气室与气膜通过节流孔连通,气室所在的气室外套的壁面开有贯通的进气孔;进气孔通过供气管与T型三通球阀出口连接;T型三通球阀一端进口与空气气源连接,另一端进口与减压阀出口端连接;减压阀进口端与氖气罐连接;压差传感器一端与空气气路连接,另一端与氖气气路连接;位移传感器隔空安装于主轴外部,两个位移传感器以主轴轴线为中心成90°布置;压差传感器、位移传感器的数据输出端均连接控制系统,T型三通球阀、减压阀的控制端均连接控制系统。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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