发明专利已授权

一种气体静压轴承气膜压力矢量控制装置

📄 申请号：CN201910238724.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-03-27

公开号

CN110030266B

公开日

2024-08-20

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16C32_06

IPC 分类号

F16C32_06

技术画像

所属领域

气体静压轴承气体静压轴承气膜压力控制精密流体控制

应用场景

精密机床, 超精密加工设备, 半导体制造设备, 精密测量仪器, 高速主轴

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摘要

一种气体静压轴承气膜压力矢量控制装置，其包括主轴、轴承，轴承装在主轴外部，两者之间的间隙区域形成气膜，轴承上均布节流孔；气室外套套装于轴承外，气室外套与轴承之间形成的封闭区域为气室，节流孔连通所述的气膜和气室；与节流孔相对的气室外套的壁面上穿设有流量控制阀，流量控制阀与节流孔同轴布置，流量控制阀的阀芯调节节流孔的开度；进气孔贯穿气室外套的壁面，外接进气管；无线压力传感器安装于开设在轴承内壁的凹槽内，其靠近主轴一侧的外形与轴承内壁面的形状一致，即无线压力传感器与气膜流场不发生干涉；流量控制阀与集线终端通过线束连接；所述控制装置与集线终端通过抗干扰总线连接。能够实现气体静压轴承气膜压力的矢量控制。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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