发明专利已授权

一种基于声悬浮和可变节流的气体静压主轴

📄 申请号：CN202110249463.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-03-08

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

F16C32_06

IPC 分类号

F16C32_06

技术画像

所属领域

声悬浮气体静压轴承主轴技术流体控制声悬浮

应用场景

精密机床, 超精密加工, 半导体制造设备, 高速主轴

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摘要

一种基于声悬浮和可变节流的气体静压主轴，包括主轴系统、控制系统、气源系统；所述主轴系统包括气体静压主轴、轴套以及轴套固定套；气体静压主轴外设有轴套，轴套外套设有轴套固定套，轴套上设有多个节流孔；气源系统用于形成高压气体，高压气体通过节流孔在轴套与气体静压主轴之间的微小间隙形成气膜；控制系统包括声悬浮轴承、节流控制阀以及位移传感器；节流控制阀设置在节流孔上，声悬浮轴承设置在轴套的左右两端，位移传感器设置在轴套上；位移传感器依次连接信号采集器、工控机，工控机的输出端与节流控制阀、声悬浮轴承电连接。本发明提高了主轴的承载力、刚度，在实现主轴频域误差主动控制的同时，仍能保证主轴的稳定运行。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220415

✅ 授权

20210702

?? 实质审查的生效：

20210615

📄 公开

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