发明专利 已授权

基于偏振光束分离的光入射角和偏振多功能探测光路系统

📄 申请号:CN202210570199.6 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2022-05-24
公开号
CN115077705B
公开日
2024-11-05
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光学测量, 精密检测, 半导体检测, 科研仪器

摘要

基于偏振光束分离的光入射角和偏振多功能探测光路系统,其特征在于:包括激光光源、以及沿激光光源光路依次设置的偏振片、二分之一波片、格兰泰勒棱镜和光斑分析仪,所述激光光源经过偏振片、二分之一波片后,成为偏振方向可以改变的线偏振光,该线偏振光以入射角度θ入射至格兰泰勒棱镜,格兰泰勒棱镜安装在旋转台上,以调节入射角度θ;线偏振光经过格兰泰勒棱镜后分为o光和e光,o光和e光从格兰泰勒棱镜射出后进入光斑分析仪,光斑分析仪收集并记录o光和e光所形成的光斑,通过o光和e光所形成的光斑之间的分离距离得到入射角度θ,同时通过o光和e光所形成的光斑重心的偏移检测偏振方向。本发明可以灵敏地检测入射光的角度和偏振。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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