发明专利已授权

以液态金属为基底的研磨盘装置

📄 申请号：CN202010294250.6 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2020-04-15

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24D18_00

IPC 分类号

B24D18_00 , B24D7_16 , B24D7_10 , B24D7_00 ,

技术画像

所属领域

精密加工设备精密加工设备研磨抛光技术液态金属应用

应用场景

半导体晶圆抛光, 光学元件精密加工, 硬脆材料研磨, 精密机械加工

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摘要

本发明公开了一种以液态金属为基底的研磨盘，包括竖直驱动装置、水平驱动装置、旋转云台、机械抓手、摄像头、抓手气缸、研磨装置和出料装置，所述竖直驱动装置固定在地面上，水平驱动装置安装在竖直驱动装置所驱动的竖直滑块上，所述旋转云台安装在所述水平驱动装置所驱动的水平滑块上，所述旋转云台的下端连接有两个机械抓手，两个机械抓手之间通过抓手气缸连接，通过抓手气缸的运动控制两个机械抓手的开合；所述摄像头设置在旋转云台的底部；本发明能够快速生成利用液态金属抛光液制成的研磨片，制作研磨盘的工艺简单，不会对材料产生浪费，磨损的研磨盘也可以回收再次使用，制作出的研磨盘精度更高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20211130

✅ 授权

20201030

?? 实质审查的生效：

20200630

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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