发明专利已授权

基于MoOx纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用

📄 申请号：CN202210549146.6 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-05-20

公开号

CN114994144B

公开日

2025-06-10

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_12

IPC 分类号

G01N27_12

技术画像

所属领域

湿度传感器湿度传感器纳米材料柔性电子

应用场景

环境监测, 工业过程控制, 医疗健康监测, 智能家居

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摘要

本发明公开了基于MoOx纳米粒子组装材料的柔性湿度传感器及其组装方法和应用，所述传感器包括柔性衬底、MoOx纳米粒子点阵、金属微电极和电导测量外电路；其中，金属微电极设置于柔性衬底表面，MoOx纳米粒子点阵沉积于金属微电极上，电导测量外电路与金属微电极电连接。本发明中的纳米粒子由团簇束流沉积设备采取气相聚集沉积法产生。通过本发明所述方法获得的基于MoOx纳米粒子的湿度传感材料及柔性器件能够实现室温下对湿度的灵敏检测，响应时间为2s，具有室温下工作、灵敏度高、响应时间快的特征。纳米粒子点阵的阻抗都处于兆欧量级，功耗极小；能够大面积生产与封装。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

结合多模光波导和衍射光学器件的静态激光散斑抑制系统

当前第 / 件

一种骨密度检测方法

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_12)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：18 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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