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发明专利
已授权
一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器及其制备方法
📄 申请号:CN202210874588.8
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2022-07-25
公开号
CN115343335B
公开日
2024-11-19
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N27_12
IPC 分类号
G01N27_12
技术画像
所属领域
气敏传感器
气体传感器
纳米材料
传感器制造工艺
气敏传感器
应用场景
环境监测, 工业安全, 智能家居, 可穿戴设备, 便携式气体检测
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摘要
本发明公开了一种增强抗湿性能的纳米粒子组装材料气敏传感器及其制备方法,本发明的气敏传感器包括带有绝缘衬底的叉指电极以及在叉指电极上沉积的金属纳米粒子,在叉指电极的电极两端输入电压,叉指之间形成偏压,通过金属纳米粒子形成导电通路,产生电信号作为气敏传感响应信号;在叉指电极及金属纳米粒子表面,质地均匀的涂镀了疏水薄膜层,疏水薄膜层为PMMA、PDMS、PTFE、PFA和SiO2等疏水材料中的一种或多种,疏水薄膜层将内部金属纳米粒子与外部环境中的水蒸气隔绝,对金属纳米粒子及叉指电极表面起到很好的保护作用,达到增强抗湿性、提高稳定性的目的。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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