发明专利已授权

新型碳化硅瓷舟

📄 申请号：CN202210504800.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-05-10

公开号

CN114768902B

公开日

2023-11-10

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B01L3_00

IPC 分类号

B01L3_00 , F27D5_00 ,

技术画像

所属领域

碳化硅陶瓷碳化硅陶瓷陶瓷舟皿陶瓷烧结

应用场景

半导体晶圆承载, 光伏电池制造, 高温热处理, 电子元器件烧结

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摘要

本发明公开了一种新型碳化硅瓷舟，包括底面以及围设在底面周围的侧壁，所述底面和侧壁围成一个具有开口的腔体，所述侧壁是相对设置的两弧形侧壁，两弧形侧壁的两端分别设置有端面，两弧形侧壁和两端面以及底面共同围合成所述腔体；所述的开口上方设置有多孔碳化硅顶盖，所述多孔碳化硅顶盖两侧侧沿的下端向内弯折形成卡槽，两所述弧形侧壁上上沿向外弯折形成卡勾，所述卡槽与所述卡勾相配合用以连接多孔碳化硅顶盖和弧形侧壁；所述多孔碳化硅顶盖的侧沿沿长度方向间隔开有泄压毫米孔。本发明气体可以通过微米或纳米孔隙进出瓷舟内部，瓷舟内固体样品则不会散逸到瓷舟外，进而提高产物的收率的目的。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20231110

✅ 授权

20220809

?? 实质审查的生效：

20220722

📄 公开

一种单位点金负载共价有机框架催化剂及其制备方法与应用

当前第 / 件

2-氯喹唑啉类衍生物或其药学上可接受的盐在制备预防或治疗宫颈癌药物中的应用

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