实用新型 已授权

一种微波等离子体与氩气混合喷发装置

📄 申请号:CN202321170468.6 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2023-05-16
公开号
CN219783550U
公开日
2023-10-03
申请人
西南大学
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

材料表面处理, 材料改性, 薄膜沉积, 半导体制造, 工业清洗

摘要

本实用新型提供一种微波等离子体与氩气混合喷发装置,包括箱体(100),箱体(100)依次设置电源控制组件(10)、复位重置组件(20)、显示组件(30)、数据处理组件(40)、功率控制组件(50)、微波固态信号源(60)及混合喷发组件;混合喷发组件包括保护壳体(71)、等离子体连接座(72)、氩气连接座(73)、连通管道(74)与混合喷管(75)。该装置通过对微波固态信号源进行功率控制、输出微波等离子体,并利用微波等离子体与氩气进行混合喷发,从而产生用于皮肤美容的微波等离子体炬。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
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