发明专利已授权

一种同轴等离子体炬及低功率微波微等离子体激发装置

📄 申请号：CN202111232706.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2021-10-22

公开号

CN113923847A

公开日

2022-01-11

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05H1_46

IPC 分类号

H05H1_46 , H05H1_24 ,

技术画像

所属领域

等离子体发生技术等离子体发生技术微波等离子体技术微等离子体技术

应用场景

材料表面改性, 光谱分析检测, 纳米材料制备, 微电子加工, 工业废气处理

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摘要

本发明公开了一种同轴等离子体炬及低功率微波微等离子体激发装置，涉及微波等离子体激发技术领域，其技术方案要点是：包括依次设置的连接线、谐振壳体和外壁顶；所述谐振壳体内的谐振腔内壁设有金属柱；所述连接线中的内导体一端伸入谐振腔中，且内导体的端部与金属柱间隔设置；所述金属柱设有内芯，内芯内置有孔道，内芯一端伸入外壁顶内；所述谐振壳体和/或金属柱设有与孔道连通的气道。本发明通过采用电路谐振理论，可以将常压微等离子体的微波自动激发功率降至10W，同时极大的缩小了该结构的体积，携带方便。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

具有促进细胞增殖活性的FGF1丝胶蛋白凝胶的制备方法及其产品

当前第 / 件

基于模块化因子图的骨髓瘤信号通路机制确认方法

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