发明专利已授权

基于双重入式谐振腔和微流控技术的微波传感器

📄 申请号：CN201910688108.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-07-29

公开号

CN110398502B

公开日

2022-02-11

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N22_00

IPC 分类号

G01N22_00

技术画像

所属领域

微波传感器微波传感器微流控技术谐振腔传感器

应用场景

生物医学检测, 生化分析, 环境监测, 即时检测, 食品安全检测

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摘要

一种基于双重入式谐振腔和微流控技术的微波传感器,包含衬底集成波导双重入式谐振腔体和嵌入放置在该谐振腔体中的微流控芯片；所述谐振腔体由叠合的上层盖板和下层底板构成，所述上层盖板和下层底板均包含顶层金属层、中间介质层及底层金属层。上层盖板和下层底板的中间介质层均包含数个金属通孔，连接顶层与底层金属层。下层底板有环形凹槽，凹槽中排列有两个对称的电容柱。本发明将微流道芯片嵌入衬底集成波导双重入式谐振腔中，将被测液态介电媒质精准加载于微流道中，利用谐振腔激发的三频段强诱导电场与介电媒质极化相互作用机理，实现一个非侵入式、可重复使用、易于与其他平面电路集成的高灵敏度、多频段液态媒质介电特性传感器。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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