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基于差分式衬底集成波导重入式谐振腔和微流控技术的微波传感器

Name: 基于差分式衬底集成波导重入式谐振腔和微流控技术的微波传感器
Brand: 西南大学
SKU: 2019100475906
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910047590.6 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-01-18

公开号

CN109781748B

公开日

2024-12-13

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N22_00

IPC 分类号

G01N22_00

技术画像

所属领域

微波传感器微波传感器衬底集成波导微流控技术

应用场景

生物医学检测, 化学分析, 环境监测, 食品质量检测, 即时诊断

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摘要

基于差分式衬底集成波导重入式谐振腔和微流控技术的微波传感器,所述传感器具有叠合的上层盖板和下层底板，所述上层盖板和下层底板均包含顶层金属层、中间介质层及底层金属层；在上层盖板和下层底板之间左右并排形成有两个谐振腔单体，每个所述谐振腔单体中均嵌入有微流控芯片，所述两个衬底集成波导重入式谐振腔单体并联，并由功分器串联连接。本发明基于差分结构组态将微流控芯片嵌入衬底集成波导重入式谐振腔中，利用差分结构对环境干扰的补偿、重入式谐振腔电场高度集中及微流控芯片可精准控制微量流体的优点，获得一个受干扰小、非侵入式、易于与其他平面电路集成的高灵敏度高精度传感器。

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……

图1

图2

图3

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当前第 / 件

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