发明专利已授权

基于衬底集成波导和微流控技术的微波传感器

📄 申请号：CN201811185824.5 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-10-11

公开号

CN109239465A

公开日

2019-01-18

申请人

西南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01R27_26

IPC 分类号

G01R27_26 , G01N22_00 ,

技术画像

所属领域

微波传感器微波传感器衬底集成波导微流控技术

应用场景

生物医学检测, 化学分析, 工业在线监测, 环境监测, 微流控芯片感知

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摘要

基于衬底集成波导和微流控技术的微波传感器,包含衬底集成波导重入式谐振腔和嵌入在谐振腔中的微流控芯片。谐振腔由上层盖板和下层基座叠合组成。上层盖板与下层基座均包含顶层金属层、中间介质层及底层金属层，上层盖板的顶层金属层左右两侧各刻蚀有两条关于横轴对称的凹槽。上层盖板在中心区域有凹槽嵌入微流控芯片。上层盖板和下层基座的中间介质层均包含数个金属通孔，连接顶层与底层金属层。下层基座有环形凹槽，中心形成电容柱。本发明将微流控芯片引入到衬底集成波导重入式谐振腔中，利用重入式谐振腔电场高度集中及微流控芯片可精准控制微量流体的优点，获得一个非侵入式、可重复使用、易于与其他平面电路集成的高灵敏度高精度传感器。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

四氧化三钴复合α型氧化铁蠕虫状纳米结构阵列光阳极及其制备方法和应用

当前第 / 件

瓜实蝇Hsc70_1和Hsc70_2基因及其应用

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