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发明专利
已授权
一种直流大气压等离子体发生器
📄 申请号:CN202310369575.X
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2023-04-10
公开号
CN116582993B
公开日
2023-12-15
申请人
盐城工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H05H1_24
IPC 分类号
H05H1_24
,
H05H1_28
,
H05H1_34
,
技术画像
所属领域
等离子体技术
等离子体技术
气体放电
高压电源技术
应用场景
材料表面改性, 消毒灭菌, 废气处理, 薄膜沉积, 等离子体清洗
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摘要
本发明公开了一种直流大气压等离子体发生器,包括:后电极、前电极、直流等离子体电源,所述直流等离子体电源一端连接有前电极另一端连接有后电极,述前电极和后电极之间连接有出气圈,述出气圈内圈上开有出气环槽,所述前电极和后电极上分别套装有前冷却室和后冷却室,所述前冷却室和后冷却室的外端开有进气环槽。所述进气环槽上套装有均气环,所述均气环上安装有第一进气管、第二进气管,第一进气管与后冷却室联通,第二进气管与前冷却室联通。所述后电极内安装有导流绝缘环,所述导流绝缘环右侧开有负压出气通道。本发明的结构降低气体的消耗,在散热同时对散热的热量进行利用,降低能源消耗。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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