发明专利 已授权

大气压等离子体发生器、制备方法及等离子体产生装置

📄 申请号:CN202111358288.6 📄 发布日:2026/07/29

著录项目信息

申请日
2021-11-15
公开号
CN113993263B
公开日
2024-03-22
申请人
安徽工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

表面处理, 材料改性, 薄膜沉积, 杀菌消毒, 废气处理

摘要

本发明公开一种大气压等离子体发生器、制备方法及等离子体产生装置,设置为管状的多孔介质管微针,所述多孔介质管微针包括设置在轴线位置处的金属丝电极通道和以轴线为中心圆周均布的多个微针进气通道,所述金属丝电极通道中内嵌有熔融金属极细丝电极;本发明通过熔融金属注入多孔介质管后,利用激光加热拉制的方法制备大气压等离子体发生器,具有制备方法简单、等离子体激发电压低等优点;且等离子体发生器中熔融金属极细丝电极与工作气体分开,避免了电极对工作气体的影响,同时可避免等离子体对电极的轰击和烧蚀作用,因此极大提高了等离子体放电的稳定性并可提高电极使用寿命。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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