实用新型 已授权

一种硅晶片切割衬板加热固化装置

📄 申请号:CN202421896862.2 📄 发布日:2026/07/28

著录项目信息

申请日
2024-08-06
公开号
CN223236751U
公开日
2025-08-19
申请人
江阴市嘉宇新材料有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

光伏硅片切割, 硅棒粘接固化, 晶片切割前处理, 半导体材料加工

摘要

本实用新型公开了一种硅晶片切割衬板加热固化装置,涉及到硅晶片切割衬板加工设备技术领域,包括底座组件,底座组件上安装设置有加热组件,底座组件的一侧安装设置有滑动组件。本实用新型通过底座组件、滑动组件和加热组件的设置,多个安装板的内部能够放置多个衬板,同时多个安装板围绕固化灯的外侧,在工作时,能够使用一个固化灯对多个衬板进行热固化,并且多个衬板的热固化效果相同,不会造成产品性能差异,大大提高了热固化的效率,提高了衬板的质量。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
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