发明专利 已授权

一种微小零件平面度精密测量装置

📄 申请号:CN201310379532.6 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2013-08-28
公开号
CN103616007B
公开日
2016-04-06
申请人
咸阳蓝博机械有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业自动化, 质量检测, 精密制造, 微小零件加工

摘要

本发明涉及一种微小零件平面度精密测量装置。该装置主要由底座、立柱、二维柔性导向机构、被测工件调整组件、位移传感器组件和测量驱动组件构成。被测工件由卡盘固定,并放置于四自由度调节平台上面,并将其置于底座上;固定在底座上的立柱支撑导向机构,位移传感器安装在导向机构上,测针与工件接触;由微分头带动钢丝驱动X和Y方向导向机构运动,实现测针在X和Y方向对工件表面的扫描测量,被测工件表面高度(Z方向)的变化可以通过位移传感器测得,并由显示器显示,记录测量数据,可采用最小二乘算法等平面度计算方法评价工件的平面度。本发明装置结构简单、读数方便,能够快速、准确地得到平面度测量结果。

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是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN103616007B

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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