发明专利 已授权

一种多焦点阵列光斑的发生装置及方法

📄 申请号:CN201510553665.X 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2015-09-02
公开号
CN105182556B
公开日
2017-09-05
申请人
鲁东大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

激光精密加工, 并行光刻, 显微成像, 光通信, 激光显示

摘要

本发明涉及一种多焦点阵列光斑的发生装置及方法,其方法包括以下步骤:步骤S1.发出任意偏振的激光光束;步骤S2.将任意偏振的激光光束转换为线偏振的激光光束;步骤S3.将线偏振的激光光束进行准直扩束;步骤S4.将准直扩束后的线偏振激光光束进行相位调制;S5.将相位调制后的线偏振激光光束转换为角向偏振的激光光束;步骤S6.聚焦角向偏振激光光束,在聚焦区域将产生多个焦点的阵列光斑,且每个焦点的偏振方向和空间位置是任意可调的。相对现有技术,本发明可同时实现每个焦点的偏振方向可调与空间位置可调。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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