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发明专利
已授权
一种大口径轴对称非球面测试方法及装置
📄 申请号:CN201711116481.2
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2017-11-13
公开号
CN107883912A
公开日
2018-04-06
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B21_20
IPC 分类号
G01B21_20
技术画像
所属领域
光学检测
光学检测
非球面测量
精密制造
应用场景
天文望远镜制造, 空间光学遥感, 激光光学系统, 精密光学元件检测, 高端装备制造
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摘要
本发明涉及光学加工与测量技术领域,具体涉及一种大口径轴对称非球面测试方法及装置。其实现大口径非球面的精确测量,可将探针式接触测量设备的测量量程增大80%,实现大口径光学表面的检测测量。本发明采用探针式轮廓仪进行表面轮廓测量时,测针在测量杆的带动下沿非球面表面做横向运动,随零件表面轮廓的形状进行纵向扫描,从而改变了测量光路与参考光路之间的光程差,使干涉条纹发生移动,对测量结果进行分析,得到非球面的测量偏差数据,实现了大口径零件的检测和分析。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种集筛选消毒清洗为一体的用于种子生长实验的装置
当前第 / 件
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