发明专利已授权

一种电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统及控制方法

Name: 一种电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统及控制方法
Brand: 西安理工大学
SKU: 2018100732991
Availability: InStock

📄 申请号：CN201810073299.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-01-25

公开号

CN108393548B

公开日

2020-06-26

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23H7_02

IPC 分类号

B23H7_02 , B23H7_18 , B23H7_20 ,

技术画像

所属领域

单晶硅电火花加工线切割控制半导体材料加工电火花线切割控制系统控制方法单晶硅

应用场景

半导体晶圆切割, 光伏硅片加工, 特种加工, 精密制造

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摘要

本发明公开的电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统，包括电火花线切割机床和脉冲电源，电火花线切割机床的单晶硅工件和切割线分别连接于脉冲电源的正极和负极上，电火花线切割机床的单晶硅工件进给方向依次设置有步进电机和电机驱动器，电机驱动器通过AD转换器依次连接有数据采集器和计算机，电火花线切割机床的放电回路分别串联有采样电阻，且采样电阻与AD转换器连接，使加工过程中电火花放电间隙保持在合理的范围内，避免开路或者短路的产生，提高了单晶硅工件的表面质量，本发明的的放电间隙控制方法，对于实现单晶硅半导体的电火花线切割加工，获得良好的晶片加工表面质量和加工效率具有重要的意义。

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……

图1

图2

图3

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