发明专利已授权

一种电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统及控制方法

📄 申请号：CN201810073299.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-01-25

公开号

CN108393548B

公开日

2020-06-26

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23H7_02

IPC 分类号

B23H7_02 , B23H7_18 , B23H7_20 ,

技术画像

所属领域

单晶硅电火花加工线切割控制半导体材料加工电火花线切割控制系统控制方法单晶硅

应用场景

半导体晶圆切割, 光伏硅片加工, 特种加工, 精密制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开的电火花线切割单晶硅的放电间隙控制系统，包括电火花线切割机床和脉冲电源，电火花线切割机床的单晶硅工件和切割线分别连接于脉冲电源的正极和负极上，电火花线切割机床的单晶硅工件进给方向依次设置有步进电机和电机驱动器，电机驱动器通过AD转换器依次连接有数据采集器和计算机，电火花线切割机床的放电回路分别串联有采样电阻，且采样电阻与AD转换器连接，使加工过程中电火花放电间隙保持在合理的范围内，避免开路或者短路的产生，提高了单晶硅工件的表面质量，本发明的的放电间隙控制方法，对于实现单晶硅半导体的电火花线切割加工，获得良好的晶片加工表面质量和加工效率具有重要的意义。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种可折叠伸展的星型晒衣架

当前第 / 件

轮椅智能刹车方法和系统

同领域国内专利 · IPC: (B23H7_02)

B23H7_02 B23H7_04 B23H7_08 B23H7_10 B23H7_22 B23H7_26 B23H7_36 覆盖7个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：33 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)