发明专利已授权

一种多光共轴激光损伤阈值测试装置及实现方法

Name: 一种多光共轴激光损伤阈值测试装置及实现方法
Brand: 西安工业大学
SKU: 2018110953882
Availability: InStock

📄 申请号：CN201811095388.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-09-19

公开号

CN109186958A

公开日

2019-01-11

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01M11_02

IPC 分类号

G01M11_02

技术画像

所属领域

测试装置激光损伤阈值测试光学检测技术共轴光学系统测试装置

应用场景

光学元件质量检测, 高功率激光系统, 激光材料损伤测试, 光电器件测试, 科研实验

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摘要

本发明公开了一种多光共轴激光损伤阈值测试装置及实现方法。所述测量装置采用4台高能脉冲激光器，分别经对应棱镜转折后进入共轴光学系统，4光束共用一套系统，以及计算机控制处理系统，利用可变间距的正-负透镜组成扩束系统，对扩束系统的光学间隔进行调整，可实现不同波长激光束的准直扩束；采用步进电机精确控制聚焦透镜的位置，对不同激光波长的焦距进行补偿，从而保证激光传输到测试表面，其光斑的大小及离焦量恒定。该装置实现了测试系统的集成化、自动化、智能化，能够在线、实时、快速、准确判别薄膜损伤，同一测试装置，可以测量多种不同波长的激光损伤阈值。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种压力辅助尺寸可控水热碳球的制备方法及制备的水热碳球

当前第 / 件

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