发明专利已授权

一种二自由度微纳定位平台

📄 申请号：CN201811599323.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-12-26

公开号

CN109493913B

公开日

2021-05-11

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G12B5_00

IPC 分类号

G12B5_00

技术画像

所属领域

精密定位平台精密定位平台微纳运动控制柔性机构

应用场景

精密加工, 半导体制造, 光学对准, 生物显微操作, 微纳操纵

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摘要

本发明公开了一种二自由度微纳定位平台，包括基座、运动平台、导向机构、解耦机构、驱动器；基座中部设有所述运动平台，所述运动平台四周连接有所述导向机构，导向机构又与所述解耦机构连接，所述解耦机构与所述基座连接，放大机构置于所述运动平台和所述解耦机构之间，放大机构与解耦机构连接，放大机构内设有驱动器，驱动器用于驱动所述运动平台。本发明结构布局有效的利用定位平台空间，减小了的定位平台整体尺寸。本发明能减小因定位平台铰链刚化效应产生的力—位移非线性以及减小了铰链集中应力，驱动器辅助装配机构使得驱动器过盈装配到放大机构中更为方便，定位平台能够使用线切割一体化加工，具有无需装配、无摩擦、无需润滑等优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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