发明专利已授权

基于集员估计粒子滤波理论的硅熔液液位估计方法

📄 申请号：CN201910091890.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-01-30

公开号

CN109827637A

公开日

2019-05-31

申请人

西安理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01F23_292

IPC 分类号

G01F23_292

技术画像

所属领域

自动控制系统自动控制系统滤波与状态估计液位检测技术

应用场景

单晶硅生长, 半导体制造, 光伏产业, 工业过程自动控制

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摘要

本发明公开了一种基于集员估计粒子滤波理论的硅熔液液位估计方法，对激光三角法得到的液位观测数据进行滤波，采用集员估计理论构造粒子的有界集合，再以高斯分布从有界集合中抽取粒子，使粒子的分布更加接近理想的后验分布，最后利用代价函数对粒子进行重采样，有效地估计硅熔液真实液位，本发明不需要任何噪声分布函数先验知识，可以在过程和测量噪声均未知的情况下估计液位，提高对硅熔液液位检测的鲁棒性。本发明解决了现有技术中存在的硅熔液液位测量数据中噪声统计特性未知，难以估计真实液位的的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201023

✅ 授权

20190625

?? 实质审查的生效：

20190531

📄 公开

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