发明专利已授权

一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器

📄 申请号：CN202010150034.4 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-03-06

申请人

电子科技大学中山学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_12

IPC 分类号

G01N27_12

技术画像

所属领域

气体传感器气体传感器表面等离激元金属氧化物半导体

应用场景

工业安全气体检测, 环境监测, 室内空气质量检测, 智能家居, 医疗呼气诊断

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摘要

本发明涉及一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器，包括基底层、叉指电极层、金属氧化物层,所述金属氧化物层的上方设置有贵金属颗粒，贵金属颗粒的上方还设置有金属氧化物颗粒；通过在金属氧化物的上方设置贵金属颗粒，通过光激发出强烈的电子振荡，并在贵金属颗粒附近形成强电场，有利于将金属氧化物附近的氧气分子变成氧负离子，电阻剧烈增加；当待测气体与传感器接触时，金属氧化物自由电子浓度剧烈增加，电阻剧烈降低。通过检测电阻的变化，就可以实现气体分子的探测；该基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器具有下列优点：结构简单，对气体分子检测灵敏度高，特别是甲醛、甲醇等分子检测的灵敏度更高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230915

?? 专利权的转移：

20221223

✅ 授权

20200707

?? 实质审查的生效：

20200612

📄 公开

一种级联作用型半导体气体传感器

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