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发明专利
已授权
一种微光学元件透射相位的检测方法
📄 申请号:CN202010386808.3
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2020-05-09
公开号
CN111562089B
公开日
2022-05-20
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01M11_02
IPC 分类号
G01M11_02
,
G03H1_04
,
G03H1_12
,
技术画像
所属领域
光学检测
光学检测
微光学元件
相位测量
应用场景
光学器件检测, 精密制造, 光通信, 科研实验
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摘要
本发明属于微光学元件高精度检测技术领域,具体涉及一种微光学元件透射相位的检测方法。为解决微光学元件透射相位信息的高精度检测问题。本发明采用的方法首先通过软件程序设计出微光学元件理想全息图,加载在空间光调制器上,通过计算机进行调制,将调制后的参考光路与物光干涉得到新的全息图。根据液晶空间光调制器的相位调制范围,使其作为相位补偿器,最终得到的新全息图实现了相位信息的补偿。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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覆盖
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