发明专利已授权

一种共光路相移数字全息显微测量装置

📄 申请号：CN202010597987.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-06-28

公开号

CN111796501B

公开日

2022-03-22

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03H1_04

IPC 分类号

G03H1_04 , G03H1_12 , G01B11_24 , G01B9_021 ,

技术画像

所属领域

测量装置数字全息显微相移干涉测量光学显微测量测量装置

应用场景

精密测量, 工业无损检测, 生物医学成像, 材料科学分析, 微电子检测

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摘要

本发明公开了一种共光路相移数字全息显微测量装置，包括沿光路方向依次固定设置的光纤激光器(1)、光纤准直器(2)、可调衰减器(3)、显微物镜(5)、平面平晶I(6)、平面平晶II(7)、压电陶瓷驱动器(8)、会聚透镜(9)、滤波器(10)和成像探测器件(11)，所述成像探测器(11)通过电缆与计算机(12)连接。本发明利用紧邻的两平面平晶，实现参考光和测试光间的相位差变化，获得被测目标的相移数字全息显微成像。该装置不但消除了非共光路中系统噪声的影响，而且易于实现高精度相移全息，有效地提高了数字全息的相位重建精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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