发明专利已授权

一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法

📄 申请号：CN202110430704.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-04-21

公开号

CN113211164B

公开日

2022-04-08

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23Q11_00

IPC 分类号

B23Q11_00 , B23Q17_00 , B23Q17_24 ,

技术画像

所属领域

测量系统振动控制反馈控制精密测量干涉测量检测方法测量系统

应用场景

精密测量, 半导体制造, 光学检测, 机械加工, 科研实验设备

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摘要

本发明涉及一种干涉测量系统的减振反馈系统及其检测方法。保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止，进而提高原位干涉测量系统的检测精度。本发明通过采集加速度传感器的信号f1和压电传感器的信号f2；然后，两信号相减得到信号f3，将信号f3进行取反处理；再通过PID调节，控制音圈电机产生反作用力，对干涉测量系统的动态微运动进行控制，保证干涉测量系统和机床大理石工作台保证相对静止。当信号f2极小或等于零时，信号f3取反后，推动音圈电机可以抵消干涉测量系统的振动，保持静止。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

多探测光幕阵列时空约束多弹丸参数匹配方法

当前第 / 件

多约束条件的车辆路径优化方法、系统、存储介质及设备

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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