发明专利已授权

不损伤基材除含氟树脂膜的退膜液及其退膜方法

📄 申请号：CN202210699269.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-06-20

申请人

电子科技大学中山学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C09D9_04

IPC 分类号

C09D9_04 , C23G1_19 , C23G1_20 ,

技术画像

所属领域

化学处理液化学处理液膜剥离液含氟树脂去除

应用场景

半导体制造, 电子元件加工, 表面处理, 精密器件清洗

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摘要

本发明涉及一种不损伤基材除含氟树脂膜的退膜液及其退膜方法，所述退膜液由碱性氢氧化物、溶胀剂、表面活性剂、渗透剂及水组成；所述退膜方法包括将含氟树脂膜层的样品浸置于70‑90℃的退膜液中30‑90分钟，即可退除膜层。采用上述技术方案，能够完全去除基材表面的含氟树脂膜而不损伤基材；由于使用了表面活性剂、渗透剂、碱性氢氧化物和溶胀剂，四者协同可以促使膜层快速从基材表面脱落，其次，该退膜液可以反复多次使用，因此本发明的退膜液的使用成本和污染极低。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230711

✅ 授权

20220916

?? 实质审查的生效：

20220830

📄 公开

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