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发明专利
已授权
石墨烯精准叠加结构及其制备方法和应用
📄 申请号:CN202310321240.0
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2023-03-29
公开号
CN116419554A
公开日
2023-07-11
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H05K9_00
IPC 分类号
H05K9_00
技术画像
所属领域
石墨烯材料
石墨烯材料
纳米材料
二维材料
应用场景
半导体器件, 传感器, 热管理材料, 导电材料, 储能材料
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摘要
本发明公开了一种石墨烯精准叠加结构及其制备方法和应用,该结构由金属箔网栅层和石墨烯叠加层组成,其具有高透光性和强电磁屏蔽性能,能够多次吸收和反射电磁波,有效地提高传统金属结构的电磁屏蔽性能。该结构的制备方法利用激光束刻蚀工艺,在石墨烯叠加层/金属箔表面精准地形成预设的刻蚀结构,得到与设计相符的石墨烯叠加结构。该方法严格控制每一层石墨烯的叠加工艺,根据表征结果消除缺陷,协同调控刻蚀结构,将金属图形化和石墨烯连续覆盖有机结合,操作简单,可控性强。该结构在高透光性兼备强电磁屏蔽的应用领域有广阔的前景。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20230915
✅ 授权
20230728
?? 实质审查的生效 :
20230711
📄 公开
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📌 交易状态:
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未申报
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