实用新型 已授权

一种真空系统连接固定支架

📄 申请号:CN202122766362.X 📄 发布日:2026/07/17

著录项目信息

申请日
2021-11-10
公开号
CN216556240U
公开日
2022-05-17
申请人
南京阿克赛斯科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空镀膜设备, 半导体制造设备, 真空炉, 光伏设备, 真空管路系统

摘要

本实用新型公开了一种真空系统连接固定支架,涉及支架设备技术领域,具体包括若干拼接在一起的底盘,所述底盘上设有若干吸盘,所述底盘上开设有连通吸盘上底盘上端的吸孔,若干拼接在一起的所述底盘边侧设有空心圈,所述空心圈下端设有若干渗液孔,所述空心圈上端设有若干储液囊,所述底盘上在吸孔上依次连接有真空阀、真空管,所述真空管连接外部真空发生装置,所述底盘上设有若干连接螺栓,所述连接螺栓连接有支架,具备维修检测方便且维修成本低的优点,解决了现有的真空支架在使用中会出现漏气问题,维修检测不便只能直接更换,维修成本高的问题。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:50 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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