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实用新型
已授权
一种真空系统连接固定支架
📄 申请号:CN202122766362.X
📄 发布日:2026/07/17
著录项目信息
申请日
2021-11-10
公开号
CN216556240U
公开日
2022-05-17
申请人
南京阿克赛斯科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F16M11_22
IPC 分类号
F16M11_22
技术画像
所属领域
真空系统
真空设备
机械连接结构
固定支架
真空系统
应用场景
真空镀膜设备, 半导体制造设备, 真空炉, 光伏设备, 真空管路系统
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摘要
本实用新型公开了一种真空系统连接固定支架,涉及支架设备技术领域,具体包括若干拼接在一起的底盘,所述底盘上设有若干吸盘,所述底盘上开设有连通吸盘上底盘上端的吸孔,若干拼接在一起的所述底盘边侧设有空心圈,所述空心圈下端设有若干渗液孔,所述空心圈上端设有若干储液囊,所述底盘上在吸孔上依次连接有真空阀、真空管,所述真空管连接外部真空发生装置,所述底盘上设有若干连接螺栓,所述连接螺栓连接有支架,具备维修检测方便且维修成本低的优点,解决了现有的真空支架在使用中会出现漏气问题,维修检测不便只能直接更换,维修成本高的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种黑臭水体的自动化多级净化系统
当前第 / 件
一种粉体料仓破拱装置
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覆盖
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