发明专利已授权

一种芯片检测用芯片支撑结构

Name: 一种芯片检测用芯片支撑结构
Brand: 江苏晖恒芯片科技有限责任公司
SKU: 2023107069670
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310706967.0 📄 发布日：2026/07/10

著录项目信息

申请日

2023-06-15

公开号

CN116448156B

公开日

2023-10-03

申请人

江苏晖恒芯片科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01D11_30

IPC 分类号

G01D11_30 , G01D11_00 ,

技术画像

所属领域

芯片检测半导体检测设备芯片测试治具精密机械支撑结构芯片检测

应用场景

半导体测试, 芯片检测, 集成电路测试, 晶圆测试, 电子元件检测

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摘要

本发明提供一种芯片检测用芯片支撑结构，属于支撑结构领域。特别涉及一种芯片检测时对芯片进行支撑调节的支撑结构。包括：固定座，固定座上设置有多组底部支撑台，底部支撑台为固定座主体向下延伸形成的支撑结构，以进行固定座的悬空支撑固定；安装置于固定座中部的吸附组件，以进行芯片的吸附固定，吸附组件为真空吸附固定；所述固定座上设置有一体形成的芯片支撑结构，支撑结构支撑面高于吸附组件吸附面，支撑结构底部设置有调节组件，通过在芯片支托底部对应设置有支托臂，支托臂独立进行调节，对芯片支撑的局部点位进行升降调节。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

具有甲氧基取代的熊果酮酸衍生物、制备方法及应用

当前第 / 件

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