发明专利 已授权

一种石英承载装置

📄 申请号:CN202011496428.1 📄 发布日:2026/07/10

著录项目信息

申请日
2020-12-17
公开号
CN112497114A
公开日
2021-03-16
申请人
苏州博莱特石英有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 晶圆加工, 高温扩散工艺, 光伏生产

摘要

本发明公开了一种石英承载装置,包括两个支撑板和若干石英棒,支撑板上设有横向通槽,横向通槽包括顶壁和底壁,底壁上设有若干下夹槽,下夹槽中设有下橡胶阻尼片,横向通槽内设有压板,压板的底部设有若干上夹槽,上夹槽中设有上橡胶阻尼片,顶壁和压板之间连接有压缩弹簧,石英棒的端部插入横向通槽中,石英棒的端部夹紧于对应的上橡胶阻尼片和下橡胶阻尼片之间;石英棒上设有若干组电子片材定位组件,若干组电子片材定位组件沿石英棒的周向均布,每组电子片材定位组件包括若干定位块,相邻两个定位块之间形成电子片材定位槽,且若干组电子片材定位组件中电子片材定位槽的槽宽各不相同。本发明一种石英承载装置,可承载不同尺寸规格的电子片材。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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