发明专利已授权

一种台板表面污物检测与在线清洗的方法及其装置

Name: 一种台板表面污物检测与在线清洗的方法及其装置
Brand: 南通大学
SKU: 2018115411175
Availability: InStock

📄 申请号：CN201811541117.5 📄 发布日：2026/07/07

著录项目信息

申请日

2018-12-17

公开号

CN109365418B

公开日

2024-01-19

申请人

南通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B7_00

IPC 分类号

B08B7_00 , G01N21_94 ,

技术画像

所属领域

表面检测表面检测在线清洗自动控制系统

应用场景

工业自动化, 生产线清洗, 设备维护, 加工制造

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摘要

本发明涉及一种台板表面污物检测与在线清洗的方法及其装置,其方法是利用不同入射角的检测专用激光扫描台板表面以确认污物的具体位置和几何特征,再针对不同的污物,通过改变清洗专用激光聚焦光斑的直径,获得不同能量的热熔作用,将台板表面的各种污物针对性去除;其装置的反射镜偏转系统利用蜗杆旋转带动涡轮偏转实现不同入射角的激光扫描台板表面,对应的反射激光被检测信号接收系统接收,聚焦透镜移动系统利用音圈电机控制聚焦透镜上下移动,实现不同聚焦光斑条件下的特定污物激光清洗,本发明融合了激光的检测作用与热熔作用,能满足大尺度台板表面污物的检测与在线精准清洗,避免台板表面烧伤,提高了台板表面污物清洗的可靠性。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种化工领域用固液分离设备

当前第 / 件

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