发明专利已授权

一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置

📄 申请号：CN201711179777.9 📄 发布日：2026/06/29

著录项目信息

申请日

2017-11-23

公开号

CN108145606B

公开日

2023-07-21

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B49_12

IPC 分类号

B24B49_12 , B24B57_02 , B24B57_00 , G01N15_02 ,

技术画像

所属领域

抛光液半导体制造设备颗粒检测技术在线监测系统监测装置抛光液

应用场景

半导体晶圆制造, 化学机械抛光, 微电子器件加工, 精密表面抛光

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置，包括光学系统、数据采集与处理系统、系统标定与检验和辅助系统，光学系统包括观察窗口、激光光源、激光发射光路、激光衰减接收光路和激光散射接收光路，实现对抛光液中大颗粒光衰减、光散射信号的光电转换，数据采集与处理系统包括激光衰减、激光散射信号的采集与处理的模拟与数字电路；标定及检验系统利用标准颗粒悬浮液对抛光液大颗粒检测系统进行标定，建立激光衰减、激光散射电信号与标准颗粒已知尺寸之间的关系；辅助系统包括抽样系统、清洗系统和气泡消除系统。本发明检测范围大，实时在线检测，对提升高表面完整性的抛光加工的良品率有重要作用，降低生产成本。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种跨越架

当前第 / 件

一种抛光蓝宝石晶片的内含钕化物软质磨料固着磨具及其制作方法

同领域国内专利 · IPC: (B24B49_12)

B24B49_00 B24B49_02 B24B49_04 B24B49_10 B24B49_12 B24B49_16 覆盖6个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：63 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种抛光过程中抛光液大颗粒实时在线监测装置

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B24B49_12)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种树脂玻璃专用修复抛光装置

一种工件内圈抛光设备

一种不锈钢材料的表面亮度强化处理装置

服务项目

资源中心

关于柿子坊