发明专利已授权

基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器

📄 申请号：CN202610275591.6 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2026-03-09

公开号

CN121783056B

公开日

2026-05-08

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B15_02

IPC 分类号

G01B15_02

技术画像

所属领域

传感器技术传感器技术厚度测量技术信号处理与误差补偿

应用场景

工业厚度测量, 涂镀层厚度检测, 在线质量检测, 自动化生产线, 精密制造

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摘要

本发明公开了基于交指槽结构的高灵敏度线性度补偿型厚度传感器，涉及微波传感领域，包括介质基板、共面波导、交指槽谐振结构和堆叠边界结构，介质基板的表面设有共面波导，交指槽谐振结构蚀刻于共面波导的接地带上，堆叠边界结构位于交指槽谐振结构的上方，堆叠边界结构包括由下至上层叠设置的绝缘垫片和金属反射层。本发明采用上述的高灵敏度线性保持型微波谐振厚度传感器，在实现高灵敏度的同时有效抑制了灵敏度随待测样品厚度增加而快速衰减的现象，显著提升了传感器的响应线性度与均匀性，保持测量的稳定性和可靠性，并结构简单。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

3D打印机用气流场进气口整流装置及其控制方法

当前第 / 件

一种物料提升输送机装置

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